屹唐告美晶片製造商竊密 索償近億
具國資背景 示中美科技戰升級
【明報專訊】中國半導體設備龍頭北京屹唐半導體科技股份周四(14日)晚披露，該公司已入稟北京知識產權法院起訴全球最大半導體製造商美國應用材料(Applied Materials Inc.)「撬牆脚」，非法獲取其核心技術秘密，索賠9999萬元(人民幣，下同)。
據屹唐在上海證券交易所網站發布的公告，屹唐指控應用材料招聘屹唐全資子公司Mattson Technology, Inc.(簡稱MTI)的兩名前員工，非法獲取並使用了屹唐的等離子體源及晶圓表面處理相關的核心技術秘密。屹唐指控應用材料在中國申請發明專利，在專利申請中披露了屹唐與MTI共同所有的技術秘密，並將前述兩名員工列為專利主要發明人。
指專利發明人為子公司前員工
屹唐表示，這兩名員工均在MTI就職期間簽署保密協議，對包括涉案技術秘密在內的技術信息承擔嚴格的保密義務。屹唐亦指控應用材料涉嫌將使用涉案技術秘密的產品向中國境內的客戶推銷，進一步侵害對屹唐商業秘密權益。
屹唐公告稱，利用高濃度、穩定均勻的等離子體進行晶圓表面處理是公司的關鍵技術之一，相關技術被廣泛應用於公司的乾法去膠、乾法蝕刻、表面處理及改性等半導體加工設備中。屹唐在該領域具備領先的原創技術能力，並擁有相關技術秘密。屹唐表示，該案件已立案，截至公告發布時尚未開庭審理。
未擬起訴涉事前員工
《每日經濟新聞》引述屹唐董事會秘書辦公室表示，索賠9999萬元考慮到具體經濟損失，以及相關法律規定3倍懲罰賠償。屹唐表示，暫時未有計劃單獨起訴涉嫌違反保密協議的前員工，強調簽署保密協議是每個員工入職時的基本操作，但「保密協議也攔不住他們實際去做壞事」。
應用材料和北京知識產權法院尚未作出回應。屹唐與應用材料的糾紛由來已久。應用材料2022年起訴總部同樣位於加州的MTI透過撬牆脚竊取其核心機密，MTI則在2023年反告應用材料竊取商業機密。
應用材料與屹唐子公司曾互訴
資料顯示，屹唐2015年12月成立，拥有國資背景。屹唐與北京經濟技術開發區(亦莊)的英文名同為「E-Town」。屹唐主要從事集成電路製造過程中所需晶圓加工設備的研發、生產和銷售，面向全球集成電路製造廠商提供包括乾法去膠設備、快速熱處理設備、乾法刻蝕設備在內的集成電路製造設備及配套工藝解決方案。屹唐在相應細分領域處於全球領先地位，其乾法去膠設備、快速熱處理設備市場佔有率位居全球第二，乾法刻蝕設備市場佔有率位居全球前十，是中國少數有能力量產刻蝕設備的廠商之一。
美國矽谷半導體設備公司MTI於2016年以約3億美元總價被屹唐收購，被稱為中國半導體設備國際併購案第一單。
