城大新式顯微鏡 納米級看穿內外

[2023.04.21] 發表

【明報專訊】城大團隊自行設計及研發出全球首部結合掃描及透射模式的新一代電子顯微鏡，檢測時可同時看到樣本的表面及穿透部分，其分辨率亦可達到納米級。團隊表示，該電子顯微鏡主要可應用於工業及醫學等領域，未來計劃優化其內部系統，以用於多領域的檢測及研究。

結合掃描與穿透全球首部

城大材料科學及工程學系講座教授兼高時空分辨電子顯微中心主任陳福榮表示，團隊獲深圳福田區政府支持，目前是全球唯一大學擁有相關電子顯微鏡技術，稱證明本港創科人才有能力研發出高端科技，期望日後可不受商品化限制，持續發展高端科技。

新一代電子顯微鏡內部系統包括「脈衝電子源」、「超快相機」、「分段抽氣真空系統」及「像差校正器」，以結合掃描及透射功能，可同時檢測樣本的表面及穿透部分。研究團隊昨展示檢測技術，利用真空系統將樣本真空後，電子顯微鏡可於5分鐘內成像，並可提供10萬以上的放大倍率，以達「微納米」甚至原子尺度的測量及分析。

成像速度增樣本損害減

研究團隊指出，現時市面的電子顯微鏡未能解決輻射損害樣本及靜態圖像等問題，今次研發的電子顯微鏡，其背散射技術及二次電子探測器能增加對樣本的靈敏度，有效完成樣品掃描、放大及成像，並減低對樣本表面損害，又稱在電子顯微鏡的相機加裝偏向器，有助成像速度不再受限於成像輸出時間。

定價逾百萬料半年後應市

陳福榮稱，研究團隊現計劃籌集資金以生產電子顯微鏡，預計半年後可正式推出市場。他說電子顯微鏡定價逾100萬元人民幣，未來可用較低成本生產特定的小型電子顯微鏡。團隊未來會繼續優化電子顯微鏡，以應用於不同領域的檢測及研究。

明報記者

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