´^³ÕªÀ¡G¤é²ü±N¤¹Áp¬ü¨î´¹¤ù¾PµØ
´^³ÕªÀ¤Þz®ø®§¤H¤h³ø¹D¡A´NÀ³µØ©²n¨D¨î¹ïµØ¥X¤f¥b¾ÉÅé¥Í²£³]³Æªº°ÝÃD¤W¡A§Y¬°¥þ²y¥Dn³]³Æ¥Í²£°êªº²üÄõ©M¤é¥»¡A¹wp³Ì§Ö¥»¤ë©³«Å¥¬¦P·NÁp¤â¥[¤J¨î¦æ¦C¡C
´^³ÕªÀ«ü¡A¾¨ºÞ¨â°ê°w¹ï¤¤¤èªº¨î±¹¬I«Ü¥i¯à¤£·|¹³¬ü°ê¯ëÄY®æ¡X¡X«ôµn¬F©²¤£¤î¨î¬ü»s¾÷±ñ¥X¤f¡A¬Æ¦Üªý¤î¬ü°ê¤½¥Á¬°¤º¦a´¹¤ù»s³y°Ó¥ô¾¡A¦ý§Y¨Ï¦p¦¹¡A¦b¬ü¤é²ü3°ê¨ó½Õ¤U¡A¥_¨Ê¶Õ¥²¦b¨ú±o°ª¶¥´¹¤ù§Þ³Nªº¬ì§Þ¤W±Á{¶i¤@¨B»Ùê¡C¦b¥b¾ÉÅé¥Í²£³]³Æ»â°ì¤W¡A¬ü¡B¤é¡B²ü3°êªº¥ø·~³Ì¬°Á|¨¬»´«¡A¨ä¤¤²üÄõªº¥ú¨è¾÷¥Í²£°ÓASML§ó¬O·í«e°ß¤@¯à»s³y³Ì¥ý¶i¡u·¥µµ¥~¥ú(EUV)¥ú¨è¾÷¡vªº¥ø·~¡A¹ï¥Í²£³»¦y´¹¤ù®í¬°ÃöÁä¡C
(´^³ÕªÀ/¤¤¥¡ªÀ)